जीआर5 टाइटेनियम मेटल शीट फोर्सेमीकंडक्टर
GR5 टाइटेनियम शीट एक अल्फा + बीटा डुप्लेक्स टाइटेनियम मिश्र धातु है जिसमें टाइटेनियम, एल्यूमीनियम और वैनेडियम मुख्य घटक हैं।
विवरण
जीआर5 टाइटेनियम शीट के उत्कृष्ट यांत्रिक गुणों, संक्षारण प्रतिरोध और मशीनेबिलिटी के कारण सेमीकंडक्टर उद्योग में अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला है। ये गुण GR5 आयताकार टाइटेनियम शीट को आमतौर पर सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण में उपयोग की जाने वाली प्रमुख सामग्रियों में से एक बनाते हैं।
उद्योग की अग्रणी GR5 टाइटेनियम मिश्र धातु शीट उत्पादन प्रौद्योगिकी
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संपत्ति |
विशिष्ट मूल्य |
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घनत्व जी/सेमी3(पौंड/घन इंच) |
4.42 (0.159) |
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पिघलने की सीमा डिग्री ±15 डिग्री (डिग्री एफ) |
1649 (3000) |
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विशिष्ट ऊष्मा J/कि.ग्रा. डिग्री (बीटीयू/एलबी/डिग्री एफ) |
560 (0.134) |
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आयतन विद्युत प्रतिरोधकता ohm.cm (ohm.in) |
170 (67) |
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तापीय चालकता W/mK (BTU/ft.h. डिग्री F) |
7.2 (67) |
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तापीय विस्तार का माध्य सह-कुशलता 0-100 डिग्री/डिग्री (0-212 डिग्री एफ/डिग्री एफ) |
8.6x10-6 (4.8) |
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तापीय विस्तार का माध्य सह-कुशलता 0-300 डिग्री/डिग्री (0-572 डिग्री एफ/डिग्री एफ) |
9.2x10-6 (5.1) |
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बीटा ट्रांसस डिग्री ±15 डिग्री (डिग्री एफ) |
999 (1830) |
अर्धचालक उद्योग में GR5 पतली टाइटेनियम शीट के विशिष्ट अनुप्रयोग:
नक़्क़ाशी गुहाएँ: GR5 टाइटेनियम शीट का उपयोग प्लाज़्मा नक़्क़ाशी उपकरण में गुहाएँ बनाने के लिए किया जाता है। ये गुहाएँ उच्च तापमान और अत्यधिक संक्षारक वातावरण के अधीन हैं, और GR5 टाइटेनियम शीट उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और स्थिरता प्रदान करती है।
प्रतिक्रिया कक्ष: जीआर5 टाइटेनियम शीट का उपयोग सीवीडी उपकरण में प्रतिक्रिया कक्ष बनाने के लिए किया जाता है। ये कक्ष उच्च तापमान और रासायनिक गैसों के अधीन हैं, और GR5 टाइटेनियम शीट इस वातावरण में अच्छा प्रदर्शन बनाए रखती है।
शील्ड और घटक: उपकरण के आंतरिक भाग को संदूषण और क्षति से बचाने के लिए पीवीडी उपकरण में शील्ड और अन्य घटक भी आमतौर पर जीआर5 टाइटेनियम शीट से बने होते हैं।
GR5 औद्योगिक टाइटेनियम शीट का बड़े पैमाने पर कारखाना उत्पादन
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